載板座標追蹤定位系統
載板外觀專用檢測系統,運用機密顯微辨識與數學運算轉換成數位座標資訊並記錄座標與缺陷資訊,提供後續技術與品質分析,更可以進行後續加工與修補的座標資訊
軟板layout精準度高達7000顆(>2mm layout/unit)